平面度检测的误差测量有哪几种方法
| 浏览：
平面度检测的误差测量有哪几种方法
平面度是形位公差之一，是指基板具有的宏观凹凸高度的相对偏差。我想介绍平面度的检查方法。
平面度的定义平面度是指基板所具有的宏观凹陷高度与理想平面的偏差。平面度测定方法平面度误差是指被测定的实际表面相对于理想表面的变动量，要使理想平面的位置满足最小条件的平面度误差。
平面度误差测量的常用方法有如下几种：
1、液平面法:液平面法以液平面为测量基准面，液平面以后通内的液平面为测量基准面，用传感器测量。它主要用于测量大型平面度误差。
2、激光平面度测量仪:激光平面度测量仪用于测量大平面度误差。
3、平板干涉法：将理想平面用光学平晶反映出来，干涉条纹的弯曲直接确定了被测表面平面度误差的大小。它主要用于测量小平面的平面度误差，如测量工作面和千分尺测量头。
4、束流平面法：利用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选取在实际表面上相距最远的三个点所形成的束流平面作为测量平面度误差的基准。
5、钟表测量法:钟表测量法将被测部件和测量微计放置在标准平板上，用测量微计作为测量基准面，用测量微计逐点测量或沿着若干直线方向进行测量。用测量微计的实际测量方法将实际表面上最远的点调整为与标准平板等的角线法实测时，将实际表面的四个角点按对角线调整为两个等级。然后用测量计测量，测量微计在实际表面上测量的最大变动量为该实际表面的平面度差。
6、平面度误差的测量方法：偏置仪、百分表、数据采集器，用百分表和数据采集器。
优势：
1）不需要人工用肉眼读取数字，可减少人工读取所带来的误差；
2）数据采集器不需要人工处理，可自动计算平面度误差值。
3）当测量结果超出平面度公差范围时，数据采集器会自动报警。
